Automated Axis Alignment for a Nanomanipulator inside SEM and Its Error Optimization
المؤلفون المشاركون
Tan, Min
Cao, Zhiqiang
Zhou, Chao
Deng, Lu
Wang, Shuo
Cheng, Long
المصدر
العدد
المجلد 2017، العدد 2017 (31 ديسمبر/كانون الأول 2017)، ص ص. 1-8، 8ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2017-06-19
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
تكنولوجيا المعلومات وعلم الحاسوب
الملخص EN
In the motion of probing nanostructures, repeating position and movement is frequently happing and tolerance for position error is stringent.
The consistency between the axis of manipulators and image is very significant since the visual servo is the most important tool in the automated manipulation.
This paper proposed an automated axis alignment method for a nanomanipulator inside the SEM by recognizing the position of a closed-loop controlling the end-effector, which can characterize the relationship of these two axes, and then the rotation matrix can be calculated accordingly.
The error of this method and its transfer function are also calculated to compare the iteration method and average method.
The method in this paper can accelerate the process of axis alignment to avoid the electron beam induced deposition effect on the end tips.
Experiment demonstration shows that it can achieve a 0.1-degree precision in 90 seconds.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Zhou, Chao& Deng, Lu& Cheng, Long& Cao, Zhiqiang& Wang, Shuo& Tan, Min. 2017. Automated Axis Alignment for a Nanomanipulator inside SEM and Its Error Optimization. Scanning،Vol. 2017, no. 2017, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1197873
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Zhou, Chao…[et al.]. Automated Axis Alignment for a Nanomanipulator inside SEM and Its Error Optimization. Scanning No. 2017 (2017), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1197873
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Zhou, Chao& Deng, Lu& Cheng, Long& Cao, Zhiqiang& Wang, Shuo& Tan, Min. Automated Axis Alignment for a Nanomanipulator inside SEM and Its Error Optimization. Scanning. 2017. Vol. 2017, no. 2017, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1197873
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1197873
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر