Microscopic Examination of Cold Spray Cermet Sn+In2O3 Coatings for Sputtering Target Materials
المؤلفون المشاركون
Ambroziak, Andrzej
Winnicki, Marcin
Rutkowska-Gorczyca, Małgorzata
Baszczuk, A.
Jasiorski, M.
Małachowska, A.
Posadowski, W.
Znamirowski, Z.
المصدر
العدد
المجلد 2017، العدد 2017 (31 ديسمبر/كانون الأول 2017)، ص ص. 1-10، 10ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2017-01-09
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
10
التخصصات الرئيسية
تكنولوجيا المعلومات وعلم الحاسوب
الملخص EN
Low-pressure cold spraying is a newly developed technology with high application potential.
The aim of this study was to investigate potential application of this technique for producing a new type of transparent conductive oxide films target.
Cold spraying technique allows the manufacture of target directly on the backing plate; therefore the proposed sputtering target has a form of Sn+In2O3 coating sprayed onto copper substrate.
The microstructure and properties of the feedstock powder prepared using three various methods as well as the deposited ones by low-pressure cold spraying coatings were evaluated, compared, and analysed.
Produced cermet Sn+In2O3 targets were employed in first magnetron sputtering process to deposit preliminary, thin, transparent conducting oxide films onto the glass substrates.
The resistivity of obtained preliminary films was measured and allows believing that fabrication of TCO (transparent conducting oxide) films using targets produced by cold spraying is possible in the future, after optimization of the deposition conditions.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Winnicki, Marcin& Baszczuk, A.& Rutkowska-Gorczyca, Małgorzata& Jasiorski, M.& Małachowska, A.& Posadowski, W.…[et al.]. 2017. Microscopic Examination of Cold Spray Cermet Sn+In2O3 Coatings for Sputtering Target Materials. Scanning،Vol. 2017, no. 2017, pp.1-10.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1197876
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Winnicki, Marcin…[et al.]. Microscopic Examination of Cold Spray Cermet Sn+In2O3 Coatings for Sputtering Target Materials. Scanning No. 2017 (2017), pp.1-10.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1197876
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Winnicki, Marcin& Baszczuk, A.& Rutkowska-Gorczyca, Małgorzata& Jasiorski, M.& Małachowska, A.& Posadowski, W.…[et al.]. Microscopic Examination of Cold Spray Cermet Sn+In2O3 Coatings for Sputtering Target Materials. Scanning. 2017. Vol. 2017, no. 2017, pp.1-10.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1197876
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1197876
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر