![](/images/graphics-bg.png)
Three-Dimensional Atomic Force Microscopy for Sidewall Imaging Using Torsional Resonance Mode
المؤلفون المشاركون
Hu, Xiaodong
Hu, Xiaotang
Liu, Lu
Xu, Jianguo
Zhang, Rui
Wu, Sen
المصدر
العدد
المجلد 2018، العدد 2018 (31 ديسمبر/كانون الأول 2018)، ص ص. 1-8، 8ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2018-07-19
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
تكنولوجيا المعلومات وعلم الحاسوب
الملخص EN
This article presents an atomic force microscopy (AFM) technique for true three-dimensional (3D) characterization.
The cantilever probe with flared tip was used in a home-made 3D-AFM system.
The cantilever was driven by two shaking piezoceramics and oscillated around its vertical or torsional resonance frequency.
The vertical resonance mode was used for upper surface imaging, and the torsional resonance mode was used for sidewall detecting.
The 3D-AFM was applied to measure standard gratings with the height of 100 nm and 200 nm.
The experiment results showed that the presented 3D-AFM technique was able to detect the small defect features on the steep sidewall and to reconstruct the 3D topography of the measured structure.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Liu, Lu& Xu, Jianguo& Zhang, Rui& Wu, Sen& Hu, Xiaodong& Hu, Xiaotang. 2018. Three-Dimensional Atomic Force Microscopy for Sidewall Imaging Using Torsional Resonance Mode. Scanning،Vol. 2018, no. 2018, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1212997
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Liu, Lu…[et al.]. Three-Dimensional Atomic Force Microscopy for Sidewall Imaging Using Torsional Resonance Mode. Scanning No. 2018 (2018), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1212997
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Liu, Lu& Xu, Jianguo& Zhang, Rui& Wu, Sen& Hu, Xiaodong& Hu, Xiaotang. Three-Dimensional Atomic Force Microscopy for Sidewall Imaging Using Torsional Resonance Mode. Scanning. 2018. Vol. 2018, no. 2018, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-1212997
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-1212997
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)