Light-induced etching of silicon
العناوين الأخرى
القشط المحتث بالضوء للسليكون
المؤلفون المشاركون
المصدر
Engineering and Technology Journal
العدد
المجلد 25، العدد 03 (30 مايو/أيار 2007)، ص ص. 467-474، 8ص.
الناشر
تاريخ النشر
2007-05-30
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص AR
في هذا العمل تم استخدام الضوء الاعتيادي في عملية القشط الضوء الكيمياوي للسليكون في حامض الهيدروفلوريك.
تم استخدام المجهر الالكتروني الماسح لمراقبة التغيرات الطوبوغرافية الناتجة على سطح السليكون.
تم الحصول على طبقة سليكون مسامي منتظم باستخدام الضوء الاعتيادي بالمقارنة مع الليزر المستخدم في بحوث أخرى.
الملخص EN
In this work, an ordinary light is used for photo-chemical etching of n-type silicon wafer in HF solution.
Scanning electron microscopy is used to monitor changes in surface morphology produced during the etching process.
Uniform porous layer has been observed for various irradiation times.
Our technique offers a great controlling parameter on the porous layer uniformity compared with the porous layer achieved by using a laser beam.
Electrical properties and porous layer thickness of the photo produced layer have been studied.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Ahmad, A. M.& Ulwan, Ulwan M.. 2007. Light-induced etching of silicon. Engineering and Technology Journal،Vol. 25, no. 03, pp.467-474.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-186227
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Ahmad, A. M.& Ulwan, Ulwan M.. Light-induced etching of silicon. Engineering and Technology Journal Vol. 25, no. 03 (2007), pp.467-474.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-186227
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Ahmad, A. M.& Ulwan, Ulwan M.. Light-induced etching of silicon. Engineering and Technology Journal. 2007. Vol. 25, no. 03, pp.467-474.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-186227
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 473-474
رقم السجل
BIM-186227
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر