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Modelisation numerique des proprietes electriques dans un pulverisateur cathodique magnetron
المؤلفون المشاركون
Ballah, Z.
Khelfaoui, Fathi
Miftah, M. T.
المصدر
Annales de la Faculté des Sciences et Sciences de l'Ingénieur
العدد
المجلد 1، العدد 3 (30 سبتمبر/أيلول 2009)، ص ص. 24-31، 8ص.
الناشر
جامعة قاصدي مرباح ورقلة كلية العلوم و علوم المهندس
تاريخ النشر
2009-09-30
دولة النشر
الجزائر
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الملخص FRE
Pour étudier les paramètres électriques d’un plasma d'argon utilisé pour la déposition des couches minces de silicium dans un pulvérisateur cathodique magnétron alimenté par une source de tension radiofréquence RF de fréquence13.5 MHz , nous appliquons le modèle fluide d'un système stationnaire unidimensionnel.
Les propriétés électriques calculées sont la densité électronique, la densité ionique, le champ électrique et le potentiel électrique.
Le modèle mathématique se base sur l'équation de continuité des électrons, l'équation de continuité des ions et l’équation de Poisson.
Pour valoriser nos travaux nous appliquons ces résultats sur la sonde de Langmuir pour trouver la caractéristique courant-tension.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Ballah, Z.& Khelfaoui, Fathi& Miftah, M. T.. 2009. Modelisation numerique des proprietes electriques dans un pulverisateur cathodique magnetron. Annales de la Faculté des Sciences et Sciences de l'Ingénieur،Vol. 1, no. 3, pp.24-31.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-285407
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Ballah, Z.…[et al.]. Modelisation numerique des proprietes electriques dans un pulverisateur cathodique magnetron. Annales de la Faculté des Sciences et Sciences de l'Ingénieur Vol. 1, no. 3 (2009), pp.24-31.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-285407
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Ballah, Z.& Khelfaoui, Fathi& Miftah, M. T.. Modelisation numerique des proprietes electriques dans un pulverisateur cathodique magnetron. Annales de la Faculté des Sciences et Sciences de l'Ingénieur. 2009. Vol. 1, no. 3, pp.24-31.
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نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الفرنسية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p.31
رقم السجل
BIM-285407
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