Modelisation numerique des proprietes electriques dans un pulverisateur cathodique magnetron
Joint Authors
Ballah, Z.
Khelfaoui, Fathi
Miftah, M. T.
Source
Annales de la Faculté des Sciences et Sciences de l'Ingénieur
Issue
Vol. 1, Issue 3 (30 Sep. 2009), pp.24-31, 8 p.
Publisher
l’Université Kasdi Merbah Ouargla Faculté des Sciences et Sciences de l'Ingénieur
Publication Date
2009-09-30
Country of Publication
Algeria
No. of Pages
8
Main Subjects
Abstract FRE
Pour étudier les paramètres électriques d’un plasma d'argon utilisé pour la déposition des couches minces de silicium dans un pulvérisateur cathodique magnétron alimenté par une source de tension radiofréquence RF de fréquence13.5 MHz , nous appliquons le modèle fluide d'un système stationnaire unidimensionnel.
Les propriétés électriques calculées sont la densité électronique, la densité ionique, le champ électrique et le potentiel électrique.
Le modèle mathématique se base sur l'équation de continuité des électrons, l'équation de continuité des ions et l’équation de Poisson.
Pour valoriser nos travaux nous appliquons ces résultats sur la sonde de Langmuir pour trouver la caractéristique courant-tension.
American Psychological Association (APA)
Ballah, Z.& Khelfaoui, Fathi& Miftah, M. T.. 2009. Modelisation numerique des proprietes electriques dans un pulverisateur cathodique magnetron. Annales de la Faculté des Sciences et Sciences de l'Ingénieur،Vol. 1, no. 3, pp.24-31.
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Modern Language Association (MLA)
Ballah, Z.…[et al.]. Modelisation numerique des proprietes electriques dans un pulverisateur cathodique magnetron. Annales de la Faculté des Sciences et Sciences de l'Ingénieur Vol. 1, no. 3 (2009), pp.24-31.
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American Medical Association (AMA)
Ballah, Z.& Khelfaoui, Fathi& Miftah, M. T.. Modelisation numerique des proprietes electriques dans un pulverisateur cathodique magnetron. Annales de la Faculté des Sciences et Sciences de l'Ingénieur. 2009. Vol. 1, no. 3, pp.24-31.
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Data Type
Journal Articles
Language
French
Notes
Includes bibliographical references : p.31
Record ID
BIM-285407