Influence de quelques parametres de depot sur le niveau de contraintes residuelles dans les couches minces de chrome obtenues par pvd
المؤلفون المشاركون
Benlatreche, Y.
Rahil, I.
Djarri, A.
Chekour, L.
المصدر
Sciences et Technologie : Sciences Exactes
العدد
المجلد 2008، العدد 27 (30 يونيو/حزيران 2008)، ص ص. 13-18، 6ص.
الناشر
تاريخ النشر
2008-06-30
دولة النشر
الجزائر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص FRE
Cette étude porte sur des dépôts de couches minces dures de chrome élaborées par pulvérisation cathodique (PVD) et leur caractérisation.
Des films de chrome ont été préparés par pulvérisation RF.
L’influence de l’épaisseur des films, de la puissance appliquée à la cible sur les contraintes résiduelles a été étudiée.
L’analyse des contraintes résiduelles par le dispositif des anneaux de Newton, pour différentes épaisseurs, montre l’existence d’un pic de contraintes entre 170 et 200 nm et ce pour une puissance de l’ordre de 200 W.
Ce qui vérifie d’une part les résultats obtenus lors de précédentes études sur CrN, BN, AlN ou ZrBN et d’autre part, le modèle de croissance proposé par Nouveau et all.
[1].
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Benlatreche, Y.& Chekour, L.& Rahil, I.& Djarri, A.. 2008. Influence de quelques parametres de depot sur le niveau de contraintes residuelles dans les couches minces de chrome obtenues par pvd. Sciences et Technologie : Sciences Exactes،Vol. 2008, no. 27, pp.13-18.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-293485
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Benlatreche, Y.…[et al.]. Influence de quelques parametres de depot sur le niveau de contraintes residuelles dans les couches minces de chrome obtenues par pvd. Sciences et Technologie : Sciences Exactes No. 27 (2008), pp.13-18.
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نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Benlatreche, Y.& Chekour, L.& Rahil, I.& Djarri, A.. Influence de quelques parametres de depot sur le niveau de contraintes residuelles dans les couches minces de chrome obtenues par pvd. Sciences et Technologie : Sciences Exactes. 2008. Vol. 2008, no. 27, pp.13-18.
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نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الفرنسية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 17-18
رقم السجل
BIM-293485
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