Influence of shape design of MEMS (micro-cantilever based sensor) on high-sensitivity
العناوين الأخرى
تأثير تصميم شكل المستشعر الكابولي الأدق على زيادة التحسس
المؤلف
المصدر
Engineering and Technology Journal
العدد
المجلد 30، العدد 20 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 3581-3595، 15ص.
الناشر
تاريخ النشر
2012-12-31
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
15
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص AR
في هذا البحث تم إجراء تحليل مبتكر على (Micro-Cantilever based sensor) لغرض زيادة التحسس من خلال عمل ثقوب دائرية في عتبات المستشعر التي هي بمقطع مستطيل مثلث و متدرج.
لغرض إجراء المقارنة بينهما من خلال دراسة تأثير تغير مقطع شكل العتبة على أداء المستشعر.
و تم استخدام مادة السليكون و الذي له معامل المرونة Gpa 130 و نسبة بويسن 0.28 لتصنيع المتحسسات و لغرض تحليل هذه النماذج تم استخدام طريقة .ANSYS تم دراسة عدة حالات من خلال وجود ثقب واحده أو ثقبان أو ثلاثة ثقوب في كل من المقاطع الثلاثة مثلث, مستطيل و متدرج.
أظهرت نتائج الدراسة بأن العتبة (المستشعر) ذات المقطع المثلث (T22) مع وجود ثقبان هي الأكثر تحسس للإجهادات و أظهرت أيضا بأن (T12) أكثر بالتتابع من R12, s12 بنسبة 61.7 % و 65 % هي الأكثر تحسس للإجهادات.
الملخص EN
In this paper, a novel analysis was carried out on the biosensor micro cantilevers in order to increase the sensitivity of a micro-cantilever based biosensor piezoresistive.
Holes were made and compared with the basic rectangular (R), triangular (T), and step(S) profile cantilever.
Effect of changing the micro-cantilevers profile and its cross-section shape was investigated.
A finite element ANSYS was used to analyze these models.
The micro-cantilevers are made of silicon with elastic modulus 130Gpa and poisson’s ratio 0.28.
Several cases were studied by making one, two and three holes in each biosensor piezoresistive micro-cantilevers (rectangular (R), triangular (T), and step(S) profile cantilever).
Results showed that triangular micro-cantilever with two holes (T22) has the better sensitivity, also showed T12 respectively 61.7 % and 65 % higher sensitivity than R12, S12.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Shihab, Ibtisam Mahdi. 2012. Influence of shape design of MEMS (micro-cantilever based sensor) on high-sensitivity. Engineering and Technology Journal،Vol. 30, no. 20, pp.3581-3595.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-320549
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Shihab, Ibtisam Mahdi. Influence of shape design of MEMS (micro-cantilever based sensor) on high-sensitivity. Engineering and Technology Journal Vol. 30, no. 20 (2012), pp.3581-3595.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-320549
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Shihab, Ibtisam Mahdi. Influence of shape design of MEMS (micro-cantilever based sensor) on high-sensitivity. Engineering and Technology Journal. 2012. Vol. 30, no. 20, pp.3581-3595.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-320549
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes appendices : p. 3587-3595
رقم السجل
BIM-320549
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر