![](/images/graphics-bg.png)
Theoretical study and simulation of corrugated silicon diaphragms
المؤلف
المصدر
The Iraqi Journal for Mechanical and Materials Engineering
العدد
المجلد 2009، العدد D(s) (31 ديسمبر/كانون الأول 2009)، ص ص. 665-675، 11ص.
الناشر
تاريخ النشر
2009-12-31
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
11
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص AR
في هذا البحث، تم دراسة الأغشية المصنوعة من السليكون بأشكالها المستوية و المموجة من خلال النظرية و المحاكاة.
قورنت النتائج النظرية للانحرافات مع المحاكاة بواسطة العناصر المحددة و بتوافق جيد.
تشير النتائج إلى أن العلاقة الخطية للانحراف مع الحمل من الممكن الحصول عليها عن طريق زيادة عمق التموج، و أن خطوة التموج لم تظهر أي تأثير ملحوظ مقارنة مع بقية العوامل.
لذا، ففي تصميم الغشاء المموج فإن زيادة قطر الغشاء و / أو تقليل سمك الغشاء يزيد من حساسية الغشاء، و أن زيادة عمق التموج يزيد من خطية العلاقة بين الانحراف و الحمل.
الملخص EN
In this paper, silicon diaphragms with planar and corrugated shapes are studied through both theory and simulations.
The analytical calculations of deflections are compared with FEM simulations with good agreement.
The results show that linear load-deflection relationship can be obtained by increasing corrugation depth and corrugation pitch did not show any noticeable effect compared to other parameters.
Therefore the rule of thumb in the design of a corrugated diaphragm is that increasing diaphragm diameter and / or decreasing diaphragm thickness increase diaphragm sensitivity and that increasing corrugation depth increases the linearity of load deflection relation.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Hasan, Muhammad Midhat. 2009. Theoretical study and simulation of corrugated silicon diaphragms. The Iraqi Journal for Mechanical and Materials Engineering،Vol. 2009, no. D(s), pp.665-675.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-330690
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Hasan, Muhammad Midhat. Theoretical study and simulation of corrugated silicon diaphragms. The Iraqi Journal for Mechanical and Materials Engineering No. D (2009), pp.665-675.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-330690
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Hasan, Muhammad Midhat. Theoretical study and simulation of corrugated silicon diaphragms. The Iraqi Journal for Mechanical and Materials Engineering. 2009. Vol. 2009, no. D(s), pp.665-675.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-330690
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 675
رقم السجل
BIM-330690
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)