An investigation of multi-porous silicon gas sensor

العناوين الأخرى

ﺗﻘﺼﻲ اﻟﻤﺘﺤﺴﺴﺎت اﻟﻐﺎزﯾﺔ ﻟﻠﺴﻠﯿﻜﻮن اﻟﻤﺴﺎﻣﻲ اﻟﻤﺘﻌﺪد اﻟﻤﺴﺎﻣﺎت

المؤلف

Ulwan, Ulwan M.

المصدر

Engineering and Technology Journal

العدد

المجلد 32، العدد 1B (31 يناير/كانون الثاني 2014)، ص ص. 183-190، 8ص.

الناشر

الجامعة التكنولوجية

تاريخ النشر

2014-01-31

دولة النشر

العراق

عدد الصفحات

8

التخصصات الرئيسية

الفيزياء

الموضوعات

الملخص AR

تم تحضير متحسس كفوء للأبخرة العضوية باستخدام طبقات السليكون المتعدد المسامية (mpsi ) ضمن تركيب شرائحي من (Au / mpsi / n-si /Au) آلية تدفق التيار ضمن المتحسس تم تحليلها بالاعتماد على تركب شرائحي من الطبيعة الطوبوغرافية و مقاوميه طبقة السليكون المسامي المتعدد المسامية.

أظهرت صور المجهر الالكتروني الماسح SEM ) ) تكون تركيب مسامي معقد يحوي على تركيب مشابه لكل من الرقع الطينية و الفجوات. تفصل بين الرقع مجموعة من الاخاديد المتصلة و غير المتصلة فيما بينها بينما تركيب الفجوات يتكون من مجموعة من الفجوات المختلفة الابعاد و تقع هذه ضمن الرقعة الواحدة.

ان استجابة المتحسس للتيار تحكمها قناة الظليكون الواقعة بين الرقع بدلا من الأسلاك النانوية الواقعة بين الفجوات المتجاورة.

الملخص EN

Efficient porous silicon organic vapors sensors werefabricated byemploying a multiporous silicon layer (mPSi) within (Au/mPSi/n-Si/Au) sandwich structures.

Based on the morphological nature and the resistivity of resulting (mPSi), the mechanism of current flow in the sensor was analyzed.

The SEM images of (mPSi) layer reflect the formation of complex porous and mud-like structures.

The mud-like structure consists of connected and non-connected trenches whilethe pore-like structure consists of different pore sizes formed inside this structure.

The current response is governed by the silicon channel between the adjacent mud’srather than the silicon nanowires between the adjacent pores.

نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)

Ulwan, Ulwan M.. 2014. An investigation of multi-porous silicon gas sensor. Engineering and Technology Journal،Vol. 32, no. 1B, pp.183-190.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-371068

نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)

Ulwan, Ulwan M.. An investigation of multi-porous silicon gas sensor. Engineering and Technology Journal Vol. 32, no. 1B (2014), pp.183-190.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-371068

نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)

Ulwan, Ulwan M.. An investigation of multi-porous silicon gas sensor. Engineering and Technology Journal. 2014. Vol. 32, no. 1B, pp.183-190.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-371068

نوع البيانات

مقالات

لغة النص

الإنجليزية

الملاحظات

Includes bibliographical references : p. 190

رقم السجل

BIM-371068