An investigation of multi-porous silicon gas sensor

Other Title(s)

ﺗﻘﺼﻲ اﻟﻤﺘﺤﺴﺴﺎت اﻟﻐﺎزﯾﺔ ﻟﻠﺴﻠﯿﻜﻮن اﻟﻤﺴﺎﻣﻲ اﻟﻤﺘﻌﺪد اﻟﻤﺴﺎﻣﺎت

Author

Ulwan, Ulwan M.

Source

Engineering and Technology Journal

Issue

Vol. 32, Issue 1B (31 Jan. 2014), pp.183-190, 8 p.

Publisher

University of Technology

Publication Date

2014-01-31

Country of Publication

Iraq

No. of Pages

8

Main Subjects

Physics

Topics

Abstract AR

تم تحضير متحسس كفوء للأبخرة العضوية باستخدام طبقات السليكون المتعدد المسامية (mpsi ) ضمن تركيب شرائحي من (Au / mpsi / n-si /Au) آلية تدفق التيار ضمن المتحسس تم تحليلها بالاعتماد على تركب شرائحي من الطبيعة الطوبوغرافية و مقاوميه طبقة السليكون المسامي المتعدد المسامية.

أظهرت صور المجهر الالكتروني الماسح SEM ) ) تكون تركيب مسامي معقد يحوي على تركيب مشابه لكل من الرقع الطينية و الفجوات. تفصل بين الرقع مجموعة من الاخاديد المتصلة و غير المتصلة فيما بينها بينما تركيب الفجوات يتكون من مجموعة من الفجوات المختلفة الابعاد و تقع هذه ضمن الرقعة الواحدة.

ان استجابة المتحسس للتيار تحكمها قناة الظليكون الواقعة بين الرقع بدلا من الأسلاك النانوية الواقعة بين الفجوات المتجاورة.

Abstract EN

Efficient porous silicon organic vapors sensors werefabricated byemploying a multiporous silicon layer (mPSi) within (Au/mPSi/n-Si/Au) sandwich structures.

Based on the morphological nature and the resistivity of resulting (mPSi), the mechanism of current flow in the sensor was analyzed.

The SEM images of (mPSi) layer reflect the formation of complex porous and mud-like structures.

The mud-like structure consists of connected and non-connected trenches whilethe pore-like structure consists of different pore sizes formed inside this structure.

The current response is governed by the silicon channel between the adjacent mud’srather than the silicon nanowires between the adjacent pores.

American Psychological Association (APA)

Ulwan, Ulwan M.. 2014. An investigation of multi-porous silicon gas sensor. Engineering and Technology Journal،Vol. 32, no. 1B, pp.183-190.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-371068

Modern Language Association (MLA)

Ulwan, Ulwan M.. An investigation of multi-porous silicon gas sensor. Engineering and Technology Journal Vol. 32, no. 1B (2014), pp.183-190.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-371068

American Medical Association (AMA)

Ulwan, Ulwan M.. An investigation of multi-porous silicon gas sensor. Engineering and Technology Journal. 2014. Vol. 32, no. 1B, pp.183-190.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-371068

Data Type

Journal Articles

Language

English

Notes

Includes bibliographical references : p. 190

Record ID

BIM-371068