A simulation of radio frequency plasmas sustained in electropositive gas
المؤلفون المشاركون
المصدر
العدد
المجلد 2002، العدد 11 (31 يوليو/تموز 2002)، ص ص. 40-44، 5ص.
الناشر
تاريخ النشر
2002-07-31
دولة النشر
الجزائر
عدد الصفحات
5
التخصصات الرئيسية
الملخص FRE
and //( ا/اءا/،ء ،ا'ا<ا/؛/ '، ،ا'ا'،/، Plasma enhanced etching and déposition is crucial III iiucroele< Ironic used to '،٢،؛ (materials processing III general.
Ill this process, low pressure ،'/،'،•//•،،• gas discharges (plasmas react to etch the substrate or to deposit a solid film.
To attain أ/ ،اا/ اا dissociate a feedstock gas into radicals understanding of the glow discharge is required.
'ااء/ا؛///ااا،»/ء better results in these application fields, a Computational modeling is a key tool for studying collisions/ plasma discharges, '!he Slonte ( 'arlo simulation fsrcxc/n .\()/nc (icmUcd Jft'opcf'ifcs o
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Settaouti, L.& Settaouti, A.. 2002. A simulation of radio frequency plasmas sustained in electropositive gas. Synthèse،Vol. 2002, no. 11, pp.40-44.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-388832
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Settaouti, L.& Settaouti, A.. A simulation of radio frequency plasmas sustained in electropositive gas. Synthèse No. 11 (Jul. 2002), pp.40-44.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-388832
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Settaouti, L.& Settaouti, A.. A simulation of radio frequency plasmas sustained in electropositive gas. Synthèse. 2002. Vol. 2002, no. 11, pp.40-44.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-388832
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 44
رقم السجل
BIM-388832
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر