![](/images/graphics-bg.png)
Salicide process for submicron bicmos technology
المصدر
The Arabian Journal for Science and Engineering. Section B, Engineering
العدد
المجلد 26، العدد 2B (31 أكتوبر/تشرين الأول 2001)، ص ص. 133-143، 11ص.
الناشر
جامعة الملك فهد للبترول و المعادن
تاريخ النشر
2001-10-31
دولة النشر
السعودية
عدد الصفحات
11
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Simultaneous titanium salicide formation on doped/undoped Si and Polysilicon (poly-Si) can be accompanied by undesirable materials effects such as: salicide lateral growth over the sidewall spacer oxide and hence bridging of the gate to source/drain (S/D), Ti reaction with the field oxide, resulting in global shorting of devices and circuits, and variations in salicide properties depending on dopant concentration/type in the Si.
To understand the interaction mechanisms, experiments were carried out to study the salicide growth rates, dopant/salicide reactions, rapid thermal processing (RTP) of poly-Si salicidation, Ti/oxide interactions, and salicide lateral growth as a function of temperature and process window.
Salicided BiCMOS devices were characterized by SEM, contact resistance, sheet resistance, and unction leakage current measurements.
The optimized salicide process exhibited characteristics suitable for submicron devices.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Naim, Abd Allah. 2001. Salicide process for submicron bicmos technology. The Arabian Journal for Science and Engineering. Section B, Engineering،Vol. 26, no. 2B, pp.133-143.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-389437
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Naim, Abd Allah. Salicide process for submicron bicmos technology. The Arabian Journal for Science and Engineering. Section B, Engineering Vol. 26, no. 2B (Oct. 2001), pp.133-143.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-389437
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Naim, Abd Allah. Salicide process for submicron bicmos technology. The Arabian Journal for Science and Engineering. Section B, Engineering. 2001. Vol. 26, no. 2B, pp.133-143.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-389437
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 143
رقم السجل
BIM-389437
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)