Redistribution of the Sb + ions during copper silicides formation
المؤلفون المشاركون
Bouabellou, A.
Halimi, R.
Medjani, F.
Bin Kerri, M.
المصدر
العدد
المجلد 2001، العدد 10 (30 يونيو/حزيران 2001)، ص ص. 221-224، 4ص.
الناشر
تاريخ النشر
2001-06-30
دولة النشر
الجزائر
عدد الصفحات
4
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية والتكنولوجية (متداخلة التخصصات)
الملخص EN
-The behaviour of ion-implanted Sb atoms in Si during copper silicide formation has been investigated bv mean of Rutherford backscattering spectroscopy and x-ray diffraction.
Cu thin films, - 1000 A thickness, were evaporated onto antimony implanted (100) oriented single-crystal silicon wafers with a dose of 5xJ0l}at.
cnr at 130 keV.
The samples were heal treated in vacuum by conventional thermal annealing at the range temperatures 500-700C for various times.
It was obser\'ed that, independently on the Sb dopant, two silicides ( Cu4Si and Cu3Si) were formed and grew in the considered temperature range.
Antimony atoms, initially implanted in the Si substrates, were found to be redistributed towards the samples free surface.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Medjani, F.& Halimi, R.& Bouabellou, A.& Bin Kerri, M.. 2001. Redistribution of the Sb + ions during copper silicides formation. Synthèse،Vol. 2001, no. 10, pp.221-224.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-390255
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Bin Kerri, M.…[et al.]. Redistribution of the Sb + ions during copper silicides formation. Synthèse No. 10 (Jun. 2001), pp.221-224.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-390255
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Medjani, F.& Halimi, R.& Bouabellou, A.& Bin Kerri, M.. Redistribution of the Sb + ions during copper silicides formation. Synthèse. 2001. Vol. 2001, no. 10, pp.221-224.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-390255
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes appendix : p. 223-224
رقم السجل
BIM-390255
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر