Large-Scale Atmospheric Step-and-Repeat UV Nanoimprinting
المؤلفون المشاركون
Shoji, Shuichi
Ishibashi, Kentaro
Mizuno, Jun
Goto, Hiroshi
المصدر
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-9، 9ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-08-23
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
9
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الكيمياء
الملخص EN
Step-and-repeat UV nanoimprinting for large-scale nanostructure fabrication under atmospheric pressure was realized using high-viscosity photocurable resin and a simple nanoimprinting system.
In step-and-repeat UV nanoimprinting under atmospheric pressure using low-viscosity resin, large-scale nanostructure fabrication is very difficult, due to bubble defects and nonuniformity of the residual layer.
To minimize bubble defects and nonuniformity of the residual layer, we focused on the damping effects of photocurable resin viscosity.
Fabrication of 165 dies was successfully demonstrated in a 130×130 mm2 area on an 8 in silicon substrate by step-and-repeat UV nanoimprinting under atmospheric pressure using high-viscosity photocurable resin.
Nanostructures with widths and spacing patterns from 80 nm to 3 μm and 200 nm depth were formed using a quartz mold.
Bubble defects were not observed, and residual layer uniformity was within 30 nm ±10%.
This study reports on simple step-and-repeat UV nanoimprinting under atmospheric pressure using high-viscosity photocurable resin, as a very widely available method for large-scale mass production of nanostructures.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Ishibashi, Kentaro& Goto, Hiroshi& Mizuno, Jun& Shoji, Shuichi. 2012. Large-Scale Atmospheric Step-and-Repeat UV Nanoimprinting. Journal of Nanotechnology،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-446561
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Ishibashi, Kentaro…[et al.]. Large-Scale Atmospheric Step-and-Repeat UV Nanoimprinting. Journal of Nanotechnology No. 2012 (2012), pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-446561
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Ishibashi, Kentaro& Goto, Hiroshi& Mizuno, Jun& Shoji, Shuichi. Large-Scale Atmospheric Step-and-Repeat UV Nanoimprinting. Journal of Nanotechnology. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-446561
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-446561
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر