![](/images/graphics-bg.png)
Application of Ozone Related Processes to Mineralize Tetramethyl Ammonium Hydroxide in Aqueous Solution
المؤلفون المشاركون
Chiou, Chyow-San
Chen, Hua-Wei
Lin, Ya-Fen
Chuang, Kai-Jen
Ma, Chih-Ming
المصدر
International Journal of Photoenergy
العدد
المجلد 2013، العدد 2013 (31 ديسمبر/كانون الأول 2013)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2013-11-25
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Tetramethyl ammonium hydroxide (TMAH) is an anisotropic etchant used in the wet etching process of the semiconductor industry and is hard to degrade by biotreatments when it exists in wastewater.
This study evaluated the performance of a system combined with ultraviolet, magnetic catalyst (SiO2/Fe3O4) and O3, denoted as UV/O3, to TMAH in an aqueous solution.
The mineralization efficiency of TMAH under various conditions follows the sequence: UV/O3 > UV/H2O2/O3 > H2O2/SiO2/Fe3O4/O3 > H2O2/O3 > SiO2/Fe3O4/O3 > O3 > UV/H2O2.
The results suggest that UV/O3 process provides the best condition for the mineralization of TMAH (40 mg/L), resulting in 87.6% mineralization, at 60 min reaction time.
Furthermore, the mineralization efficiency of SiO2/Fe3O4/H2O2/O3 was significantly higher than that of O3, H2O2/O3, and UV/H2O2.
More than 90% of the magnetic catalyst was recovered and easily redispersed in a solution for reuse.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Chiou, Chyow-San& Chuang, Kai-Jen& Lin, Ya-Fen& Chen, Hua-Wei& Ma, Chih-Ming. 2013. Application of Ozone Related Processes to Mineralize Tetramethyl Ammonium Hydroxide in Aqueous Solution. International Journal of Photoenergy،Vol. 2013, no. 2013, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-453255
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Chiou, Chyow-San…[et al.]. Application of Ozone Related Processes to Mineralize Tetramethyl Ammonium Hydroxide in Aqueous Solution. International Journal of Photoenergy No. 2013 (2013), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-453255
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Chiou, Chyow-San& Chuang, Kai-Jen& Lin, Ya-Fen& Chen, Hua-Wei& Ma, Chih-Ming. Application of Ozone Related Processes to Mineralize Tetramethyl Ammonium Hydroxide in Aqueous Solution. International Journal of Photoenergy. 2013. Vol. 2013, no. 2013, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-453255
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-453255
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)