Improving the Validity of Squeeze Film Air-Damping Model of MEMS Devices with Border Effect
المؤلفون المشاركون
المصدر
Journal of Applied Mathematics
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-05-26
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Evaluation of squeezed film air damping is critical in the design and control of dynamic MEMS devices.
The published squeezed film air damping models are generally derived from the analytical solutions of Reynolds equation or its other modified forms under the supposition of trivial pressure boundary conditions on the peripheral borders.
These treatments ignoring the border effect can not give faithful result for structure with smaller air venting gap or the double-gimbaled structure in which the inner frame and outer one affect the air venting.
In this paper, we use Green’s function to solve the nonlinear Reynolds equation with inhomogeneous boundary conditions.
For two typical normal motion cases of parallel plate, the analytical models of squeeze film damping force with border effect are established.
The viscous and inertial losses with real values and image values acoustic impedance are all included in the model.
These models reduced the time consumption while giving satisfactory result.
Without multifield coupling analysis, the estimation of the dynamic behavior of MEMS device is also allowed, and the simulation of the system performance is more convenient.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Bai, Cheng& Huang, Jin. 2014. Improving the Validity of Squeeze Film Air-Damping Model of MEMS Devices with Border Effect. Journal of Applied Mathematics،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-453364
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Bai, Cheng& Huang, Jin. Improving the Validity of Squeeze Film Air-Damping Model of MEMS Devices with Border Effect. Journal of Applied Mathematics No. 2014 (2014), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-453364
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Bai, Cheng& Huang, Jin. Improving the Validity of Squeeze Film Air-Damping Model of MEMS Devices with Border Effect. Journal of Applied Mathematics. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-453364
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-453364
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر