Vibrational Spectroscopy of Chemical Species in Silicon and Silicon-Rich Nitride Thin Films
المؤلفون المشاركون
Volodin, Vladimir A.
Zelenina, Anastasia A.
Bugaev, Kirill O.
المصدر
International Journal of Spectroscopy
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-5، 5ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2011-10-02
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
5
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Vibrational properties of hydrogenated silicon-rich nitride (SiNx:H) of various stoichiometry (0.6≤x≤1.3) and hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) films were studied using Raman spectroscopy and Fourier transform infrared spectroscopy.
Furnace annealing during 5 hours in Ar ambient at 1130°C and pulse laser annealing were applied to modify the structure of films.
Surprisingly, after annealing with such high-thermal budget, according to the FTIR data, the nearly stoichiometric silicon nitride film contains hydrogen in the form of Si–H bonds.
From analysis of the FTIR data of the Si–N bond vibrations, one can conclude that silicon nitride is partly crystallized.
According to the Raman data a-Si:H films with hydrogen concentration 15% and lower contain mainly Si–H chemical species, and films with hydrogen concentration 30–35% contain mainly Si–H2 chemical species.
Nanosecond pulse laser treatments lead to crystallization of the films and its dehydrogenization.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Bugaev, Kirill O.& Zelenina, Anastasia A.& Volodin, Vladimir A.. 2011. Vibrational Spectroscopy of Chemical Species in Silicon and Silicon-Rich Nitride Thin Films. International Journal of Spectroscopy،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-460050
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Bugaev, Kirill O.…[et al.]. Vibrational Spectroscopy of Chemical Species in Silicon and Silicon-Rich Nitride Thin Films. International Journal of Spectroscopy No. 2012 (2012), pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-460050
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Bugaev, Kirill O.& Zelenina, Anastasia A.& Volodin, Vladimir A.. Vibrational Spectroscopy of Chemical Species in Silicon and Silicon-Rich Nitride Thin Films. International Journal of Spectroscopy. 2011. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-460050
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-460050
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر