A Pull-in Based Test Mechanism for Device Diagnostic and Process Characterization
المؤلفون المشاركون
Rocha, L. A.
Mol, L.
Machado da Silva, José
Wolffenbuttel, R. F.
Cretu, Edmond
المصدر
العدد
المجلد 2008، العدد 2008 (31 ديسمبر/كانون الأول 2008)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2008-04-06
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الملخص EN
A test technique for capacitive MEMS accelerometers and electrostatic microactuators, based on the measurement of pull-in voltages and resonance frequency, is described.
Using this combination of measurements, one can estimate process-induced variations in the device layout dimensions as well as deviations from nominal value in material properties, which can be used either for testing or device diagnostics purposes.
Measurements performed on fabricated devices confirm that the 250 nm overetch observed on SEM images can be correctly estimated using the proposed technique.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Rocha, L. A.& Mol, L.& Cretu, Edmond& Wolffenbuttel, R. F.& Machado da Silva, José. 2008. A Pull-in Based Test Mechanism for Device Diagnostic and Process Characterization. VLSI Design،Vol. 2008, no. 2008, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-460183
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Rocha, L. A.…[et al.]. A Pull-in Based Test Mechanism for Device Diagnostic and Process Characterization. VLSI Design No. 2008 (2008), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-460183
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Rocha, L. A.& Mol, L.& Cretu, Edmond& Wolffenbuttel, R. F.& Machado da Silva, José. A Pull-in Based Test Mechanism for Device Diagnostic and Process Characterization. VLSI Design. 2008. Vol. 2008, no. 2008, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-460183
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-460183
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر