![](/images/graphics-bg.png)
Model of PE-CVD Apparatus : Verification and Simulations
المؤلفون المشاركون
Geiser, Juergen
Buck, V.
Arab, M.
المصدر
Mathematical Problems in Engineering
العدد
المجلد 2010، العدد 2010 (31 ديسمبر/كانون الأول 2010)، ص ص. 1-32، 32ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2010-06-29
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
32
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
In this paper, we present a simulation of chemical vapor deposition with metallic bipolar plates.
In chemical vapor deposition, a delicate optimization between temperature, pressure and plasma power is important to obtain homogeneous deposition.
The aim is to reduce the number of real-life experiments in a given CVD plasma reactor.
Based on the large physical parameter space, there are a hugh number of possible experiments.
A detailed study of the physical experiments in a CVD plasma reactor allows to reduce the problem to an approximate mathematical model, which is the underlying transport-reaction model.
Significant regions of the CVD apparatus are approximated and physical parameters are transferred to the mathematical parameters.
Such an approximation reduces the mathematical parameter space to a realistic number of numerical experiments.
The numerical results are discussed with physical experiments to give a valid model for the assumed growth and we could reduce expensive physical experiments.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Geiser, Juergen& Buck, V.& Arab, M.. 2010. Model of PE-CVD Apparatus : Verification and Simulations. Mathematical Problems in Engineering،Vol. 2010, no. 2010, pp.1-32.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-469700
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Geiser, Juergen…[et al.]. Model of PE-CVD Apparatus : Verification and Simulations. Mathematical Problems in Engineering No. 2010 (2010), pp.1-32.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-469700
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Geiser, Juergen& Buck, V.& Arab, M.. Model of PE-CVD Apparatus : Verification and Simulations. Mathematical Problems in Engineering. 2010. Vol. 2010, no. 2010, pp.1-32.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-469700
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-469700
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)