![](/images/graphics-bg.png)
Ta2O5 Thin Films for Capacitive RF MEMS Switches
المؤلفون المشاركون
De Angelis, Giorgio
Marcelli, Romolo
Siciliano, Pietro
Quaranta, Fabio
Taurino, Antonietta
Persano, Anna
Cola, Adriano
المصدر
العدد
المجلد 2010، العدد 2010 (31 ديسمبر/كانون الأول 2010)، ص ص. 1-5، 5ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2010-12-28
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
5
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Shunt capacitive RF MEMS switches have been developed using III-V technology and employing (tantalum pentoxide) Ta2O5 thin films as dielectric layers.
In order to evaluate the potential of the Ta2O5 thin films for the considered application, the compositional, structural, and electrical characterization of the deposited films has been performed, demonstrating that they are good candidates to be used as dielectric layers for the fabrication of RF MEMS switches.
Specifically, Ta2O5 films are found to show a leakage current density of few nA/cm2 for E∼1 MV/cm and a high dielectric constant of 32.
Moreover, the charging process has been investigated, finding that it follows a stretched exponential law.
The fabricated switches show actuation voltages in the range 15–20 V, an insertion loss better than −0.8 dB up to 30 GHz, and an isolation of ~−40 dB at the resonant frequency which is around 25 GHz.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Persano, Anna& Quaranta, Fabio& Cola, Adriano& Taurino, Antonietta& De Angelis, Giorgio& Marcelli, Romolo…[et al.]. 2010. Ta2O5 Thin Films for Capacitive RF MEMS Switches. Journal of Sensors،Vol. 2010, no. 2010, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-475536
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Persano, Anna…[et al.]. Ta2O5 Thin Films for Capacitive RF MEMS Switches. Journal of Sensors No. 2010 (2010), pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-475536
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Persano, Anna& Quaranta, Fabio& Cola, Adriano& Taurino, Antonietta& De Angelis, Giorgio& Marcelli, Romolo…[et al.]. Ta2O5 Thin Films for Capacitive RF MEMS Switches. Journal of Sensors. 2010. Vol. 2010, no. 2010, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-475536
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-475536
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)