![](/images/graphics-bg.png)
Purity of Ion Beams : Analysis and Simulation of Mass Spectra and Mass Interferences in Ion Implantation
المؤلفون المشاركون
Häublein, Volker
Frey, Lothar
Ryssel, Heiner
المصدر
Advances in Materials Science and Engineering
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-9، 9ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2011-11-14
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
9
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الملخص EN
This paper shows that charge exchange events and dissociation reactions of ions may impact the purity of the ion beam in ion implantation, leading to contamination of the implanted target.
Physical relations are derived that explain why unwanted ions are transported in the ion beam despite of a magnetic mass separation.
Based on those relations, the simulation tool ENCOTION (ENergetic COntamination simulaTION) has been developed.
ENCOTION is a very powerful tool for the simulation of transport mechanisms of ions through a magnet analyzer and for the simulation of mass spectra, as will be demonstrated in this paper.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Häublein, Volker& Ryssel, Heiner& Frey, Lothar. 2011. Purity of Ion Beams : Analysis and Simulation of Mass Spectra and Mass Interferences in Ion Implantation. Advances in Materials Science and Engineering،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-484906
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Häublein, Volker…[et al.]. Purity of Ion Beams : Analysis and Simulation of Mass Spectra and Mass Interferences in Ion Implantation. Advances in Materials Science and Engineering No. 2012 (2012), pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-484906
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Häublein, Volker& Ryssel, Heiner& Frey, Lothar. Purity of Ion Beams : Analysis and Simulation of Mass Spectra and Mass Interferences in Ion Implantation. Advances in Materials Science and Engineering. 2011. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-9.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-484906
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-484906
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)