![](/images/graphics-bg.png)
Flexible Surface Acoustic Wave Device with AlN Film on Polymer Substrate
المؤلفون المشاركون
Jin, Hao
Dong, Shurong
Feng, Bing
Zhou, Jian
Wang, Demiao
المصدر
Journal of Control Science and Engineering
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-5، 5ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-10-03
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
5
التخصصات الرئيسية
هندسة كهربائية
تكنولوجيا المعلومات وعلم الحاسوب
الملخص EN
Surface acoustic wave device with c-axis-oriented aluminum nitride (AlN) piezoelectric thin films on polymer substrates can be potentially used for development of flexible sensors, flexible microfluidic applications, microsystems, and lab-on-chip systems.
In this work, the AlN films have been successfully deposited on polymer substrates using the DC reactive magnetron-sputtering method at room temperature, and the XRD, SEM, and AFM methods reveal that low deposition pressure is beneficial to the highly c-axis-oriented AlN film on polymer substrates.
Studies toward the development of AlN thin film-based flexible surface acoustic wave devices on the polymer substrates are initiated and the experimental and simulated results demonstrate the devices showing the acoustic wave velocity of 9000–10000 m/s, which indicate the AlN lamb wave.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Zhou, Jian& Dong, Shurong& Jin, Hao& Feng, Bing& Wang, Demiao. 2012. Flexible Surface Acoustic Wave Device with AlN Film on Polymer Substrate. Journal of Control Science and Engineering،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-484907
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Zhou, Jian…[et al.]. Flexible Surface Acoustic Wave Device with AlN Film on Polymer Substrate. Journal of Control Science and Engineering No. 2012 (2012), pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-484907
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Zhou, Jian& Dong, Shurong& Jin, Hao& Feng, Bing& Wang, Demiao. Flexible Surface Acoustic Wave Device with AlN Film on Polymer Substrate. Journal of Control Science and Engineering. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-484907
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-484907
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)