Nanostructural, Chemical, and Mechanical Features of nc-Si : H Films Prepared by PECVD
المؤلفون المشاركون
Nam, Hee-Jong
Cho, Nam-Hee
Son, Jong-Ick
المصدر
International Journal of Photoenergy
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-8، 8ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-03-14
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This study examined the effects of film thickness on the nanostructural, chemical, and mechanical features of nc-Si:H films deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition.
SiH4 and H2 were used as the source gases, and the deposition time was varied from 10 to 360 min.
The mean nanocrystallites size in the Si films increased from ∼6 to ∼8 nm with increasing film thickness from 85 to 4150 nm.
Moreover, the nanocrystallite concentration and elastic modulus increased from ∼7.5 to ∼45% and from 135 to 147 Gpa, respectively.
In the 4150 nm thick film, the relative volume fraction of Si nanocrystallites and relative fraction of Si–H bonds in the films were approximately ∼45% and ∼74.5%, respectively.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Son, Jong-Ick& Nam, Hee-Jong& Cho, Nam-Hee. 2012. Nanostructural, Chemical, and Mechanical Features of nc-Si : H Films Prepared by PECVD. International Journal of Photoenergy،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-487724
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Son, Jong-Ick…[et al.]. Nanostructural, Chemical, and Mechanical Features of nc-Si : H Films Prepared by PECVD. International Journal of Photoenergy No. 2012 (2012), pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-487724
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Son, Jong-Ick& Nam, Hee-Jong& Cho, Nam-Hee. Nanostructural, Chemical, and Mechanical Features of nc-Si : H Films Prepared by PECVD. International Journal of Photoenergy. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-8.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-487724
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-487724
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر