Design of Pixellated CMOS Photon Detector for Secondary Electron Detection in the Scanning Electron Microscope
المؤلفون المشاركون
Holburn, David
Chuah, Joon Huang
المصدر
العدد
المجلد 2011، العدد 2011 (31 ديسمبر/كانون الأول 2011)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2011-06-28
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
This paper presents a novel method of detecting secondary electrons generated in the scanning electron microscope (SEM).
The method suggests that the photomultiplier tube (PMT), traditionally used in the Everhart-Thornley (ET) detector, is to be replaced with a configurable multipixel solid-state photon detector offering the advantages of smaller dimension, lower supply voltage and power requirements, and potentially cheaper product cost.
The design of the proposed detector has been implemented using a standard 0.35 μm CMOS technology with optical enhancement.
This microchip comprises main circuit constituents of an array of photodiodes connecting to respective noise-optimised transimpedance amplifiers (TIAs), a selector-combiner (SC) circuit, and a postamplifier (PA).
The design possesses the capability of detecting photons with low input optical power in the range of 1 nW with 100 μm × 100 μm sized photodiodes and achieves a total amplification of 180 dBΩ at the output.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Chuah, Joon Huang& Holburn, David. 2011. Design of Pixellated CMOS Photon Detector for Secondary Electron Detection in the Scanning Electron Microscope. Advances in OptoElectronics،Vol. 2011, no. 2011, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-488037
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Chuah, Joon Huang& Holburn, David. Design of Pixellated CMOS Photon Detector for Secondary Electron Detection in the Scanning Electron Microscope. Advances in OptoElectronics No. 2011 (2011), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-488037
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Chuah, Joon Huang& Holburn, David. Design of Pixellated CMOS Photon Detector for Secondary Electron Detection in the Scanning Electron Microscope. Advances in OptoElectronics. 2011. Vol. 2011, no. 2011, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-488037
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-488037
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر