![](/images/graphics-bg.png)
An Optimized Adsorbent Sampling Combined to Thermal Desorption GC-MS Method for Trimethylsilanol in Industrial Environments
المؤلفون المشاركون
Jia, Chunrong
Lee, Ike Woo
Choi, Young Seok
Kim, Yong Doo
Pham, Tien Thang
Kim, Hong Hyun
Seo, Young Un
Lee, Jae Hwan
المصدر
International Journal of Analytical Chemistry
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-10، 10ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-08-23
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
10
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Trimethylsilanol (TMSOH) can cause damage to surfaces of scanner lenses in the semiconductor industry, and there is a critical need to measure and control airborne TMSOH concentrations.
This study develops a thermal desorption (TD)-gas chromatography (GC)-mass spectrometry (MS) method for measuring trace-level TMSOH in occupational indoor air.
Laboratory method optimization obtained best performance when using dual-bed tube configuration (100 mg of Tenax TA followed by 100 mg of Carboxen 569), n-decane as a solvent, and a TD temperature of 300°C.
The optimized method demonstrated high recovery (87%), satisfactory precision (<15% for spiked amounts exceeding 1 ng), good linearity (R2=0.9999), a wide dynamic mass range (up to 500 ng), low method detection limit (2.8 ng m−3 for a 20-L sample), and negligible losses for 3-4-day storage.
The field study showed performance comparable to that in laboratory and yielded first measurements of TMSOH, ranging from 1.02 to 27.30 μg/m3, in the semiconductor industry.
We suggested future development of real-time monitoring techniques for TMSOH and other siloxanes for better maintenance and control of scanner lens in semiconductor wafer manufacturing.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Lee, Jae Hwan& Jia, Chunrong& Kim, Yong Doo& Kim, Hong Hyun& Pham, Tien Thang& Choi, Young Seok…[et al.]. 2012. An Optimized Adsorbent Sampling Combined to Thermal Desorption GC-MS Method for Trimethylsilanol in Industrial Environments. International Journal of Analytical Chemistry،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-10.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-490808
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Lee, Jae Hwan…[et al.]. An Optimized Adsorbent Sampling Combined to Thermal Desorption GC-MS Method for Trimethylsilanol in Industrial Environments. International Journal of Analytical Chemistry No. 2012 (2012), pp.1-10.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-490808
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Lee, Jae Hwan& Jia, Chunrong& Kim, Yong Doo& Kim, Hong Hyun& Pham, Tien Thang& Choi, Young Seok…[et al.]. An Optimized Adsorbent Sampling Combined to Thermal Desorption GC-MS Method for Trimethylsilanol in Industrial Environments. International Journal of Analytical Chemistry. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-10.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-490808
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-490808
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)