![](/images/graphics-bg.png)
Structure and Thermal Stability of Copper Nitride Thin Films
المؤلفون المشاركون
Pu, Jibin
Wang, Kaiyuan
Lu, Zhibin
Zhang, Guangan
Wu, Guizhi
المصدر
Indian Journal of Materials Science
العدد
المجلد 2013، العدد 2013 (31 ديسمبر/كانون الأول 2013)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2013-12-15
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Copper nitride (Cu3N) thin films were deposited on glass via DC reactive magnetron sputtering at various N2 flow rates and partial pressures with 150°C substrate temperature.
X-ray diffraction and scanning electron microscopy were used to characterize the microstructure and morphology.
The results show that the films are composed of Cu3N crystallites with anti-ReO3 structure.
The microstructure and morphology of the Cu3N film strongly depend on the N2 flow rate and partial pressure.
The cross-sectional micrograph of the film shows typical columnar, compact structure.
The thermal stabilities of the films were investigated using vacuum annealing under different temperature.
The results show that the introducing of argon in the sputtering process decreases the thermal stability of the films.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Zhang, Guangan& Lu, Zhibin& Pu, Jibin& Wu, Guizhi& Wang, Kaiyuan. 2013. Structure and Thermal Stability of Copper Nitride Thin Films. Indian Journal of Materials Science،Vol. 2013, no. 2013, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-493712
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Zhang, Guangan…[et al.]. Structure and Thermal Stability of Copper Nitride Thin Films. Indian Journal of Materials Science No. 2013 (2013), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-493712
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Zhang, Guangan& Lu, Zhibin& Pu, Jibin& Wu, Guizhi& Wang, Kaiyuan. Structure and Thermal Stability of Copper Nitride Thin Films. Indian Journal of Materials Science. 2013. Vol. 2013, no. 2013, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-493712
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-493712
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)