Synthesis and Dielectric Studies of Monoclinic Nanosized Zirconia
المؤلفون المشاركون
Paul, Aswathy
Prabha, V. Lakshmi
Nirmal, D.
Nesamani, I. Flavia Princess
المصدر
Advances in Condensed Matter Physics
العدد
المجلد 2014، العدد 2014 (31 ديسمبر/كانون الأول 2014)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2014-02-16
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Zirconium dioxide is a prospective high-κ material that can replace silicon dioxide.
Zirconium dioxide nanoparticle has been synthesized using sol-gel process at room temperature.
The structural and morphological characterization of the nanoscaled zirconium dioxide is done using FTIR, SEM, X-ray diffraction, and TEM.
The particle size of the synthesized ZrO2 is observed in the range of 50–80 nm with an average crystallite size of 2–10 nm.
The results are compared with commercial coarse zirconia which showed a particle size in the range of 900 nm–2.13 µm and crystallite size of 5.3 nm–20 nm.
It is expected that both nanoscaling and the high dielectric constant of ZrO2 would be useful in replacing the low-κ SiO2 dielectric with high-κ ZrO2 for CMOS fabrication technology.
The synthesized ZrO2 is subjected to impedance analysis and it exhibited a dielectric constant of 25 to find its application in short channel devices like multiple gate FinFETS and as a suitable alternative for the conventional gate oxide dielectric SiO2 with dielectric value of 3.9, which cannot survive the challenge of an end of oxide thickness ≤ 1 nm.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Nesamani, I. Flavia Princess& Prabha, V. Lakshmi& Paul, Aswathy& Nirmal, D.. 2014. Synthesis and Dielectric Studies of Monoclinic Nanosized Zirconia. Advances in Condensed Matter Physics،Vol. 2014, no. 2014, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-501423
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Nesamani, I. Flavia Princess…[et al.]. Synthesis and Dielectric Studies of Monoclinic Nanosized Zirconia. Advances in Condensed Matter Physics No. 2014 (2014), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-501423
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Nesamani, I. Flavia Princess& Prabha, V. Lakshmi& Paul, Aswathy& Nirmal, D.. Synthesis and Dielectric Studies of Monoclinic Nanosized Zirconia. Advances in Condensed Matter Physics. 2014. Vol. 2014, no. 2014, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-501423
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-501423
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر