Design and Fabrication of a Novel T-Shaped Piezoelectric ZnO Cantilever Sensor
المؤلفون المشاركون
Yang, Kai
Chen, Dapeng
Li, Zhigang
المصدر
Active and Passive Electronic Components
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-07-03
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
A novel T-shaped piezoelectric ZnO cantilever sensor for chem/bio-detection is designed and fabricated with MEMS technology.
By using Rayleigh-Ritz method, the fundamental resonant frequency formula of T-shaped cantilevers is deduced for the first time and is validated by simulation results and experimental results.
From this formula, we can easily find the superiority of adopting T-shape for the cantilevers.
The complete process of the cantilever sensor is then successfully developed.
The cantilever sensor is actuated by a layer of high-quality ZnO film with preferred (002) orientation, which is evaluated by SEM and XRD.
The key step of the process is protecting the ZnO film from KOH etching by a novel and effective method, which has rarely appeared in the literature.
Finally, this cantilever sensor is measured by a network analyzer, and it has a fundamental resonant frequency of 24.60 kHz.
The cantilever sensor developed in this study illustrates the feasibility and potential for many miniaturized sensor applications.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Yang, Kai& Li, Zhigang& Chen, Dapeng. 2012. Design and Fabrication of a Novel T-Shaped Piezoelectric ZnO Cantilever Sensor. Active and Passive Electronic Components،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-501884
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Yang, Kai…[et al.]. Design and Fabrication of a Novel T-Shaped Piezoelectric ZnO Cantilever Sensor. Active and Passive Electronic Components No. 2012 (2012), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-501884
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Yang, Kai& Li, Zhigang& Chen, Dapeng. Design and Fabrication of a Novel T-Shaped Piezoelectric ZnO Cantilever Sensor. Active and Passive Electronic Components. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-501884
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-501884
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر