Raman and FTIR Studies on PECVD Grown Ammonia-Free Amorphous Silicon Nitride Thin Films for Solar Cell Applications
المؤلفون المشاركون
Singh, Chandra Bhal
Bhattacharya, S.
Dhara, Sandip
Ahmed, Nafis
Bhargav, P. Balaji
المصدر
العدد
المجلد 2013، العدد 2013 (31 ديسمبر/كانون الأول 2013)، ص ص. 1-4، 4ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2013-05-26
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
4
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
Ammonia- (NH3-) free, hydrogenated amorphous silicon nitride (a-SiNx:H) thin films have been deposited using silane (SiH4) and nitrogen (N2) as source gases by plasma-enhanced chemical vapour deposition (PECVD).
During the experiment, SiH4 flow rate has been kept constant at 5 sccm, whereas N2 flow rate has been varied from 2000 to 1600 sccm.
The effect of nitrogen flow on SiNx:H films has been verified using Raman analysis studies.
Fourier transform Infrared spectroscopy analysis has been carried out to identify all the possible modes of vibrations such as Si–N, Si–H, and N–H present in the films, and the effect of nitrogen flow on these parameters is correlated.
The refractive index of the above-mentioned films has been calculated using UV-VIS spectroscopy measurements by Swanepoel’s method.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Ahmed, Nafis& Singh, Chandra Bhal& Bhattacharya, S.& Dhara, Sandip& Bhargav, P. Balaji. 2013. Raman and FTIR Studies on PECVD Grown Ammonia-Free Amorphous Silicon Nitride Thin Films for Solar Cell Applications. Conference Papers in Energy،Vol. 2013, no. 2013, pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-502152
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Ahmed, Nafis…[et al.]. Raman and FTIR Studies on PECVD Grown Ammonia-Free Amorphous Silicon Nitride Thin Films for Solar Cell Applications. Conference Papers in Energy No. 2013 (2013), pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-502152
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Ahmed, Nafis& Singh, Chandra Bhal& Bhattacharya, S.& Dhara, Sandip& Bhargav, P. Balaji. Raman and FTIR Studies on PECVD Grown Ammonia-Free Amorphous Silicon Nitride Thin Films for Solar Cell Applications. Conference Papers in Energy. 2013. Vol. 2013, no. 2013, pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-502152
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-502152
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر