Direct Current Magnetron Glow Discharge Plasma Characteristics Study for Controlled Deposition of Titanium Nitride Thin Film
المؤلف
المصدر
العدد
المجلد 2013، العدد 2013 (31 ديسمبر/كانون الأول 2013)، ص ص. 1-6، 6ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2013-05-09
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
علم المواد والمعادن
هندسة مدنية
الملخص EN
This paper reports on the study of direct current (DC) magnetron glow discharge plasma characteristics in a cylindrical magnetron system in argon-nitrogen.
Presence of nitrogen gas makes the plasma environment reactive, and it results in significant changes of the plasma properties—number density, electron temperature, floating potential, and sheath thickness.
Applied magnetic field is a parameter which is closely related to proper deposition of thin film.
Cylindrical Langmuir probe and Emissive probe are used as diagnostics for the estimation of various plasma parameters indicated earlier.
Controlled titanium nitride (TiN) thin film deposition on bell-metal at different argon-nitrogen gases ratio is another important study reported.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Borah, Sankar Moni. 2013. Direct Current Magnetron Glow Discharge Plasma Characteristics Study for Controlled Deposition of Titanium Nitride Thin Film. Journal of Materials،Vol. 2013, no. 2013, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-503453
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Borah, Sankar Moni. Direct Current Magnetron Glow Discharge Plasma Characteristics Study for Controlled Deposition of Titanium Nitride Thin Film. Journal of Materials No. 2013 (2013), pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-503453
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Borah, Sankar Moni. Direct Current Magnetron Glow Discharge Plasma Characteristics Study for Controlled Deposition of Titanium Nitride Thin Film. Journal of Materials. 2013. Vol. 2013, no. 2013, pp.1-6.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-503453
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-503453
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر