The Improvement of Reliability of High-kMetal Gate pMOSFET Device with Various PMA Conditions
المؤلفون المشاركون
Cheng, Chi-Yun
Zhang, Wenqi
Yang, Yi-Lin
Yeh, Wen-kuan
المصدر
Active and Passive Electronic Components
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-4، 4ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-06-13
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
4
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
The oxygen and nitrogen were shown to diffuse through the TiN layer in the high-k/metal gate devices during PMA.
Both the oxygen and nitrogen annealing will reduce the gate leakage current without increasing oxide thickness.
The threshold voltages of the devices changed with various PMA conditions.
The reliability of the devices, especially for the oxygen annealed devices, was improved after PMA treatments.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Yang, Yi-Lin& Zhang, Wenqi& Cheng, Chi-Yun& Yeh, Wen-kuan. 2012. The Improvement of Reliability of High-kMetal Gate pMOSFET Device with Various PMA Conditions. Active and Passive Electronic Components،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-505116
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Yang, Yi-Lin…[et al.]. The Improvement of Reliability of High-kMetal Gate pMOSFET Device with Various PMA Conditions. Active and Passive Electronic Components No. 2012 (2012), pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-505116
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Yang, Yi-Lin& Zhang, Wenqi& Cheng, Chi-Yun& Yeh, Wen-kuan. The Improvement of Reliability of High-kMetal Gate pMOSFET Device with Various PMA Conditions. Active and Passive Electronic Components. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-505116
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-505116
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر