Fabrication of Si3N4 Nanocrystals and Nanowires Using PECVD
المؤلفون المشاركون
Song, Jingwei
Ma, Xiying
Wei, Chen
Zui, Wang
Chen, Zhongpin
المصدر
Advances in Materials Science and Engineering
العدد
المجلد 2010، العدد 2010 (31 ديسمبر/كانون الأول 2010)، ص ص. 1-4، 4ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2010-06-29
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
4
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية و تكنولوجيا المعلومات
الملخص EN
Si3N4 nanowires and nanocrystals were prepared on Si substrates with or without Fe catalyst using silane (SiH4) and nitrogen (N2) as reactive gases through plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) technology.
With Fe catalyst, Si3N4 nanowires were developed, indicating that Fe catalyst played a role for Si3N4 molecules directionally depositing into strings.
The density of the nanowires is closely related to the density of Fe catalyst.
When the density of Fe ions on the substrate was decreased remarkably, a smooth superlong Si3N4 nanowire with 12 μm in length was fabricated.
Having analyzed the growth mechanism, a growth model for Si3N4 nanowires was developed.
The growth of Si3N4 nanocrystallines was attributed to be a vapor-solid (V-S) deposition process.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Song, Jingwei& Ma, Xiying& Zui, Wang& Wei, Chen& Chen, Zhongpin. 2010. Fabrication of Si3N4 Nanocrystals and Nanowires Using PECVD. Advances in Materials Science and Engineering،Vol. 2010, no. 2010, pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-505954
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Song, Jingwei…[et al.]. Fabrication of Si3N4 Nanocrystals and Nanowires Using PECVD. Advances in Materials Science and Engineering No. 2010 (2010), pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-505954
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Song, Jingwei& Ma, Xiying& Zui, Wang& Wei, Chen& Chen, Zhongpin. Fabrication of Si3N4 Nanocrystals and Nanowires Using PECVD. Advances in Materials Science and Engineering. 2010. Vol. 2010, no. 2010, pp.1-4.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-505954
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-505954
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر