Plasma and BIAS Modeling : Self-Consistent Electrostatic Particle-in-Cell with Low-Density Argon Plasma for TiC
المؤلفون المشاركون
Geiser, Juergen
Blankenburg, Sven
المصدر
Modelling and Simulation in Engineering
العدد
المجلد 2011، العدد 2011 (31 ديسمبر/كانون الأول 2011)، ص ص. 1-13، 13ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2011-11-17
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
13
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
We motivate our study by simulating the particle transport of a thin film deposition process done by PVD (physical vapor deposition) processes.
In this paper we present a new model taken into account a self-consistent electrostatic-particle in cell model with low density Argon plasma.
The collision model are based of Monte Carlo simulations is discussed for DC sputtering in lower pressure regimes.
In order to simulate transport phenomena within sputtering processes realistically, a spatial and temporal knowledge of the plasma density and electrostatic field configuration is needed.
Due to relatively low plasma densities, continuum fluid equations are not applicable.
We propose instead a Particle-in-cell (PIC) method, which allows the study of plasma behavior by computing the trajectories of finite-size particles under the action of an external and self-consistent electric field defined in a grid of points.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Geiser, Juergen& Blankenburg, Sven. 2011. Plasma and BIAS Modeling : Self-Consistent Electrostatic Particle-in-Cell with Low-Density Argon Plasma for TiC. Modelling and Simulation in Engineering،Vol. 2011, no. 2011, pp.1-13.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-509163
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Geiser, Juergen& Blankenburg, Sven. Plasma and BIAS Modeling : Self-Consistent Electrostatic Particle-in-Cell with Low-Density Argon Plasma for TiC. Modelling and Simulation in Engineering No. 2011 (2011), pp.1-13.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-509163
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Geiser, Juergen& Blankenburg, Sven. Plasma and BIAS Modeling : Self-Consistent Electrostatic Particle-in-Cell with Low-Density Argon Plasma for TiC. Modelling and Simulation in Engineering. 2011. Vol. 2011, no. 2011, pp.1-13.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-509163
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-509163
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر