Development of an Environmentally Friendly Resist-Removal Process Using Wet Ozone
المؤلفون المشاركون
المصدر
International Journal of Polymer Science
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-7، 7ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-02-20
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
We investigated the removal of polymers with various chemical structures and the removal of ion-implanted resists using wet ozone.
The removal rates of polymers that have carbon-carbon (C–C) double bonds in the main chain were high.
The main chain of these polymers may be decomposed.
The removal rates of polymers that have C–C double bonds in the side chain were low.
The benzene ring in the side chain changes into carboxylic acid, so their ability to dissolve in water increased.
The polymers without C–C double bonds were not removed.
Removal of B and P ion-implanted resists became difficult with increasing acceleration energy of ions at implantation.
The resist with plastic-deformation hardness that was twice as hard as that of nonimplanted resist should be removed similarly to nonimplanted resist.
Using TOF-SIMS, we clarified that the molecule of cresol novolak resin was destroyed and carbonized by ion implantation.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Horibe, Hideo& Goto, Yousuke. 2012. Development of an Environmentally Friendly Resist-Removal Process Using Wet Ozone. International Journal of Polymer Science،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-509712
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Horibe, Hideo& Goto, Yousuke. Development of an Environmentally Friendly Resist-Removal Process Using Wet Ozone. International Journal of Polymer Science No. 2012 (2012), pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-509712
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Horibe, Hideo& Goto, Yousuke. Development of an Environmentally Friendly Resist-Removal Process Using Wet Ozone. International Journal of Polymer Science. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-7.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-509712
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-509712
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر