![](/images/graphics-bg.png)
Silicon Nitride Film by Inline PECVD for Black Silicon Solar Cells
المؤلفون المشاركون
Liu, Bangwu
Xia, Yang
Zhong, Sihua
Liu, Jinhu
Li, Chaobo
المصدر
International Journal of Photoenergy
العدد
المجلد 2012، العدد 2012 (31 ديسمبر/كانون الأول 2012)، ص ص. 1-5، 5ص.
الناشر
Hindawi Publishing Corporation
تاريخ النشر
2012-08-22
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
5
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
The passivation process is of significant importance to produce high-efficiency black silicon solar cell due to its unique microstructure.
The black silicon has been produced by plasma immersion ion implantation (PIII) process.
And the Silicon nitride films were deposited by inline plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) to be used as the passivation layer for black silicon solar cell.
The microstructure and physical properties of silicon nitride films were characterized by scanning electron microscope (SEM), Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR), spectroscopic ellipsometry, and the microwave photoconductance decay (μ-PCD) method.
With optimizing the PECVD parameters, the conversion efficiency of black silicon solar cell can reach as high as 16.25%.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Liu, Bangwu& Zhong, Sihua& Liu, Jinhu& Xia, Yang& Li, Chaobo. 2012. Silicon Nitride Film by Inline PECVD for Black Silicon Solar Cells. International Journal of Photoenergy،Vol. 2012, no. 2012, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-512426
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Liu, Bangwu…[et al.]. Silicon Nitride Film by Inline PECVD for Black Silicon Solar Cells. International Journal of Photoenergy No. 2012 (2012), pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-512426
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Liu, Bangwu& Zhong, Sihua& Liu, Jinhu& Xia, Yang& Li, Chaobo. Silicon Nitride Film by Inline PECVD for Black Silicon Solar Cells. International Journal of Photoenergy. 2012. Vol. 2012, no. 2012, pp.1-5.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-512426
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references
رقم السجل
BIM-512426
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)