Monte carlo simulation of charged particle in an electronegative plasma
المؤلفون المشاركون
Settaouti, L.
Settaouti, A.
Sebbani, M.
المصدر
Sciences et Technologie : Sciences Exactes
العدد
المجلد 2003، العدد 20 (31 ديسمبر/كانون الأول 2003)، ص ص. 83-88، 6ص.
الناشر
تاريخ النشر
2003-12-31
دولة النشر
الجزائر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
الموضوعات
الملخص AR
إن الاهتمام بالتفريغ تردد الراديو ازداد كثيرا في الأعوام الأخيرة و ذلك لأهميته في تقنيات الإلكترونيات الصغيرة الدقيقة و خاصة الاهتمام بخصوصية التفريغ في غاز سالب التكهرب الذي يكثر استعماله في التطبيقات التكنولوجية.
في هذا البحث نقدم بعض الخصوصيات المفصلة للبلازما تردد الراديو الموجودة عن طريق محاكاة مونت كار لو في غاز سالب التكهرب.
الملخص EN
Interest in radio frequency (rf) discharges has grown tremendously in recent years due to their importance in microelectronic technologies.
Especially interesting are the properties of discharges in electronegative gases which are most frequently used for technological applications.
Monte Carlo simulation have become increasingly important as a simulation tool particularly in the area of plasma physics.
In this work, we present some detailed properties of rf plasmas obtained by Monte Carlo simulation code, in SF6.
الملخص FRE
L'intérêt pour les décharges radio fréquence (rf) s'est considérablement accru ces dernières années, vu leur importance dans les technologies microélectroniques.
Un intérêt particulier est attribué aux propriétés des décharges dans des gaz électronégatifs, fréquemment utilisés dans des applications technologiques.
La méthode de Monte Carlo a pris une importance croissante en tant qu'outil de simulation, et plus particulièrement dans le domaine de la physique des plasmas.
Dans ce travail, nous présentons certaines propriétés des plasmas rf obtenus par le code de simulation de Monte Carlo, et ce, pour le SF6.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Settaouti, L.& Settaouti, A.& Sebbani, M.. 2003. Monte carlo simulation of charged particle in an electronegative plasma. Sciences et Technologie : Sciences Exactes،Vol. 2003, no. 20, pp.83-88.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-540627
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Settaouti, A.…[et al.]. Monte carlo simulation of charged particle in an electronegative plasma. Sciences et Technologie : Sciences Exactes No. 20 (Dec. 2003), pp.83-88.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-540627
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Settaouti, L.& Settaouti, A.& Sebbani, M.. Monte carlo simulation of charged particle in an electronegative plasma. Sciences et Technologie : Sciences Exactes. 2003. Vol. 2003, no. 20, pp.83-88.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-540627
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 88
رقم السجل
BIM-540627
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
