Monte carlo simulation of charged particle in an electronegative plasma
Joint Authors
Settaouti, L.
Settaouti, A.
Sebbani, M.
Source
Sciences et Technologie : Sciences Exactes
Issue
Vol. 2003, Issue 20 (31 Dec. 2003), pp.83-88, 6 p.
Publisher
Publication Date
2003-12-31
Country of Publication
Algeria
No. of Pages
6
Main Subjects
Topics
Abstract AR
إن الاهتمام بالتفريغ تردد الراديو ازداد كثيرا في الأعوام الأخيرة و ذلك لأهميته في تقنيات الإلكترونيات الصغيرة الدقيقة و خاصة الاهتمام بخصوصية التفريغ في غاز سالب التكهرب الذي يكثر استعماله في التطبيقات التكنولوجية.
في هذا البحث نقدم بعض الخصوصيات المفصلة للبلازما تردد الراديو الموجودة عن طريق محاكاة مونت كار لو في غاز سالب التكهرب.
Abstract EN
Interest in radio frequency (rf) discharges has grown tremendously in recent years due to their importance in microelectronic technologies.
Especially interesting are the properties of discharges in electronegative gases which are most frequently used for technological applications.
Monte Carlo simulation have become increasingly important as a simulation tool particularly in the area of plasma physics.
In this work, we present some detailed properties of rf plasmas obtained by Monte Carlo simulation code, in SF6.
Abstract FRE
L'intérêt pour les décharges radio fréquence (rf) s'est considérablement accru ces dernières années, vu leur importance dans les technologies microélectroniques.
Un intérêt particulier est attribué aux propriétés des décharges dans des gaz électronégatifs, fréquemment utilisés dans des applications technologiques.
La méthode de Monte Carlo a pris une importance croissante en tant qu'outil de simulation, et plus particulièrement dans le domaine de la physique des plasmas.
Dans ce travail, nous présentons certaines propriétés des plasmas rf obtenus par le code de simulation de Monte Carlo, et ce, pour le SF6.
American Psychological Association (APA)
Settaouti, L.& Settaouti, A.& Sebbani, M.. 2003. Monte carlo simulation of charged particle in an electronegative plasma. Sciences et Technologie : Sciences Exactes،Vol. 2003, no. 20, pp.83-88.
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Modern Language Association (MLA)
Settaouti, A.…[et al.]. Monte carlo simulation of charged particle in an electronegative plasma. Sciences et Technologie : Sciences Exactes No. 20 (Dec. 2003), pp.83-88.
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American Medical Association (AMA)
Settaouti, L.& Settaouti, A.& Sebbani, M.. Monte carlo simulation of charged particle in an electronegative plasma. Sciences et Technologie : Sciences Exactes. 2003. Vol. 2003, no. 20, pp.83-88.
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Data Type
Journal Articles
Language
English
Notes
Includes bibliographical references : p. 88
Record ID
BIM-540627
