Diagnostics of dusty plasma properties in planar magnetron sputtering device
العناوين الأخرى
تشخيص خصائص البلازما المغبره في منظومه الترذيذ المغناطيسية ذات الأبعاد المستوية
المؤلفون المشاركون
Ahmad, Raghdah Talal
Abbas, Qusayy Adnan
المصدر
العدد
المجلد 13، العدد 26 (30 إبريل/نيسان 2015)، ص ص. 64-75، 12ص.
الناشر
تاريخ النشر
2015-04-30
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
12
التخصصات الرئيسية
الملخص AR
تم دراسة تجريبية لتأثير غبار الألمنيوم على كل من منطقة التفريغ المتوهج، و فولتية التفريغ، تيار التفريغ، جهد البلازما، الجهد العائم و درجة حرارة الإلكترون في منظومة الترذيذ المغناطيسي.
فقد تم استخدام أربعة مجسات لا نكمور اسطوانية لقياس معلمات البلازما لمختلف نقاط الإشعاعية على طول عمود البلازما.
فقد بينت النتائج في وجود غبار الألمنيوم تزداد فولتية التفريغ و حدوث نقصان التيار التفريغ بالإضافة إلى ذلك وجود مجموعتين من الالكترونات ذات طاقات مختلفة بوجود و عدم وجود الغبار الألمنيوم.
و أن التوزيع المحوري لمعلمات البلازما تكون غير منتظمة بوجود غبار الألمنيوم.
و أن الجهد العائم يصبح أكثر سالبيه بينما يصبح جهد البلازما موجب عند دخول الغبار إلى منطقه البلازما و أن الكثافة الإلكترونية تزداد بوجود الغبار مما تؤدي إلى تقليل في درجة حرارة الإلكترون.
الملخص EN
The effect of Al dust particles on glow discharge regions, discharge voltage, discharge current, plasma potential, floating potential, electron density and electron temperature in planar magnetron sputtering device has been studied experimentally.
Four cylindrical Langmuir probes were employed to measure plasma parameters at different point on the radial axis of plasma column.
The results shows the present of Al dust causes to increase the discharge voltage and reduce the discharge current.
There are two electron groups in the present and absent of Al dust particles.
The radial profiles of plasma parameters in the present of dust are non- uniform.
The floating potential of probe becomes more negatively while the plasma potential becomes positive when the dust immersed into plasma region.
The electron density increases in the present of dust particle which lead to decreases the electron temperature.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Abbas, Qusayy Adnan& Ahmad, Raghdah Talal. 2015. Diagnostics of dusty plasma properties in planar magnetron sputtering device. Iraqi Journal of Physics،Vol. 13, no. 26, pp.64-75.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-606379
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Abbas, Qusayy Adnan& Ahmad, Raghdah Talal. Diagnostics of dusty plasma properties in planar magnetron sputtering device. Iraqi Journal of Physics Vol. 13, no. 26 (2015), pp.64-75.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-606379
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Abbas, Qusayy Adnan& Ahmad, Raghdah Talal. Diagnostics of dusty plasma properties in planar magnetron sputtering device. Iraqi Journal of Physics. 2015. Vol. 13, no. 26, pp.64-75.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-606379
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 75
رقم السجل
BIM-606379
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر