Spectroscopic study for plasma parameters in co-sputtering system
العناوين الأخرى
دراسة طيفية لمعلمات البلازما في منظومة الترذيذ المزدوج
المؤلفون المشاركون
Idan, Rabah Abd al-Hamid
Adim, Kazim Abd al-Wahid
المصدر
العدد
المجلد 14، العدد 31 (31 ديسمبر/كانون الأول 2016)، ص ص. 122-128، 7ص.
الناشر
تاريخ النشر
2016-12-31
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
7
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
In this work the parameters of plasma (electron temperature Te, electron density ne, electron velocity and ion velocity) have been studied by using the spectrometer that collect the spectrum of plasma.
Two cathodes were used (Si:Si) P-type and deposited on glass.
In this research argon gas has been used at various values of pressures (0.5, 0.4, 0.3, and 0.2 torr) with constant deposition time 4 hrs.
The results of electron temperature were (31596.19, 31099.77, 26020.14 and 25372.64) kelvin, and electron density (7.60*1016, 8.16*1016, 6.82*1016 and 7.11*1016) m-3.
Optical properties of Si were determined through the optical transmission method using ultraviolet visible spectrophotometer with in the range (300 – 1100) nm.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Adim, Kazim Abd al-Wahid& Idan, Rabah Abd al-Hamid. 2016. Spectroscopic study for plasma parameters in co-sputtering system. Iraqi Journal of Physics،Vol. 14, no. 31, pp.122-128.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-722668
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Adim, Kazim Abd al-Wahid& Idan, Rabah Abd al-Hamid. Spectroscopic study for plasma parameters in co-sputtering system. Iraqi Journal of Physics Vol. 14, no. 31 (2016), pp.122-128.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-722668
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Adim, Kazim Abd al-Wahid& Idan, Rabah Abd al-Hamid. Spectroscopic study for plasma parameters in co-sputtering system. Iraqi Journal of Physics. 2016. Vol. 14, no. 31, pp.122-128.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-722668
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 128
رقم السجل
BIM-722668
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر