![](/images/graphics-bg.png)
The heterostructure ZnO Al SiO2 Si fabrication for piezoelectric SAW and BAW transducers and sensors
المؤلفون المشاركون
Sarhan, R.
Larbi, F. Hadj
Lafane, S.
Messaci, S. Abdali
Boutkedjirt, T.
المصدر
Journal of New Technology and Materials
العدد
المجلد 7، العدد 1 (30 يونيو/حزيران 2017)، ص ص. 47-52، 6ص.
الناشر
جامعة العربي بن مهيدي بأم البواقي
تاريخ النشر
2017-06-30
دولة النشر
الجزائر
عدد الصفحات
6
التخصصات الرئيسية
تكنولوجيا المعلومات وعلم الحاسوب
الملخص EN
Zinc oxide (ZnO) thin films were deposited by pulsed laser deposition technique for making ZnO/Al/SiO2/Si Bulk and Surface Acoustic Wave (BAW and SAW) transducers.
The aim is to improve the piezoelectric properties of the ZnO films, which are strongly linked to their texture and microstructure.
ZnO films with a wurtzite structure were deposited on the Al electrode layer, at different substrate temperatures, within the 100-500°C range.
The characterization by X-ray diffraction showed that the deposited Al electrode was (111) oriented and that the ZnO film has a c-axis (002) preferential orientation.
The scanning electron microscopy of the ZnO films on Al / SiO2 / Si substrate showed an evidence of compact grains with a honeycomb-like structure on surface and a columnar structure on cross-section appeared after a sequential transition of amorphous to non-oriented to crystalline phase.
The results indicated that the optimum substrate temperature is of 300°C and the electrical input impedance measurement on the Al / ZnO / Al BAW structure showed a piezoelectric response, where the fundamental resonance mode was located at 160 MHz, with an electromechanical coupling coefficient Keff2 equal to 3.2%.
The best piezoelectric response is obtained at the fourth (4th) thickness mode vibration, located at the frequency of 636.3 MHz and having Keff2 of 9.10 %.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Sarhan, R.& Larbi, F. Hadj& Lafane, S.& Messaci, S. Abdali& Boutkedjirt, T.. 2017. The heterostructure ZnO Al SiO2 Si fabrication for piezoelectric SAW and BAW transducers and sensors. Journal of New Technology and Materials،Vol. 7, no. 1, pp.47-52.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-785559
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Sarhan, R.…[et al.]. The heterostructure ZnO Al SiO2 Si fabrication for piezoelectric SAW and BAW transducers and sensors. Journal of New Technology and Materials Vol. 7, no. 1 (2017), pp.47-52.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-785559
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Sarhan, R.& Larbi, F. Hadj& Lafane, S.& Messaci, S. Abdali& Boutkedjirt, T.. The heterostructure ZnO Al SiO2 Si fabrication for piezoelectric SAW and BAW transducers and sensors. Journal of New Technology and Materials. 2017. Vol. 7, no. 1, pp.47-52.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-785559
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 51-52
رقم السجل
BIM-785559
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)