Effect of electrode separation in magnetron DC plasma sputtering on grain size of gold coated samples
العناوين الأخرى
تأثير المسافة بين الأقطاب في الترذيذ البلازمي المغناطيسي المستمر على حجم حبيبات الذهب المطلية على النماذج
المؤلفون المشاركون
Rashid, Ban Faysal
Yahya, Khalid Abbas
المصدر
العدد
المجلد 15، العدد 35 (31 ديسمبر/كانون الأول 2017)، ص ص. 202-210، 9ص.
الناشر
تاريخ النشر
2017-12-31
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
9
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
In this work, an experimental research on a low voltage DC magnetron plasma sputtering (0-650) volt is used for coating gold on a glass substrate at a constant pressure of argon gas 0.2 mbar and deposition time of 30 seconds.
We focused on the effects of operating conditions for the system such as, electrode separation and sputtering current on coated samples under the influence of magnetic flux.
Electron temperature and electrons and ions densities are determined by a cylindrical single Langmuir probe.
The results show the sensitivity of electrode separation lead to change the plasma parameters.
Furthermore, the surface morphology of gold coated samples at different electrode separation and sputtering current were studied by atomic force microscopy (AFM).
The AFM analysis showed that the variation of average grain diameter and average grain height is nonlinear with a minimum value of average grain diameter 90 nm at electrode separation of 4 cm and 30 mA sputtering current.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Yahya, Khalid Abbas& Rashid, Ban Faysal. 2017. Effect of electrode separation in magnetron DC plasma sputtering on grain size of gold coated samples. Iraqi Journal of Physics،Vol. 15, no. 35, pp.202-210.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-796777
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Yahya, Khalid Abbas& Rashid, Ban Faysal. Effect of electrode separation in magnetron DC plasma sputtering on grain size of gold coated samples. Iraqi Journal of Physics Vol. 15, no. 35 (2017), pp.202-210.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-796777
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Yahya, Khalid Abbas& Rashid, Ban Faysal. Effect of electrode separation in magnetron DC plasma sputtering on grain size of gold coated samples. Iraqi Journal of Physics. 2017. Vol. 15, no. 35, pp.202-210.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-796777
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 210
رقم السجل
BIM-796777
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر