![](/images/graphics-bg.png)
Electrical glow discharges and plasma parameter of planar sputtering system for silver target
العناوين الأخرى
دراسة معلمات التفريغ الكهربائي لمنظومة الترذيذ المستمر لهدف مسطح من الفضة
المؤلف
المصدر
العدد
المجلد 16، العدد 37 (31 أغسطس/آب 2018)، ص ص. 65-72، 8ص.
الناشر
تاريخ النشر
2018-08-31
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
DC planar sputtering system is characterized by varying discharge potential of (250-2000 volt) and Argon gas pressures of (3.5×10-2 – 1.5) mbar.
The breakdown voltage for silver electrode was studied with a uniform electric field at different discharge distances, as well as plasma parameters.
The breakdown voltage is a product of the Argon gas pressure inside the chamber and gab distance between the electrodes, represent as Paschen curve.
The Current-voltage characteristics curves indicate that the electrical discharge plasma is working in the abnormal glow region.
Plasma parameters were found from the current-voltage characteristics of a single probe positioned at the inter-cathode space.
Typical values of the electron temperature and the electron density are in the range of (2.93 –5.3) eV and (10-16 -10-17) m-3 respectively.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Hasan, Mazin Hamid. 2018. Electrical glow discharges and plasma parameter of planar sputtering system for silver target. Iraqi Journal of Physics،Vol. 16, no. 37, pp.65-72.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-843330
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Hasan, Mazin Hamid. Electrical glow discharges and plasma parameter of planar sputtering system for silver target. Iraqi Journal of Physics Vol. 16, no. 37 (Aug. 2018), pp.65-72.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-843330
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Hasan, Mazin Hamid. Electrical glow discharges and plasma parameter of planar sputtering system for silver target. Iraqi Journal of Physics. 2018. Vol. 16, no. 37, pp.65-72.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-843330
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 71-72
رقم السجل
BIM-843330
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)