![](/images/graphics-bg.png)
Design and fabrication of a Carbone nanotube field effect transistor based on dielectrophoresis technique and low cost photolithography
المؤلف
المصدر
Journal of University of Babylon for Engineering Sciences
العدد
المجلد 26، العدد 5 (31 مايو/أيار 2018)، ص ص. 20-27، 8ص.
الناشر
تاريخ النشر
2018-05-31
دولة النشر
العراق
عدد الصفحات
8
التخصصات الرئيسية
الملخص EN
In this work, Micro- and Nanofabrication technology was used to fabricate and demonstrate a simple Carbon nanotubes (CNTs) field effect transistors (FETs) which is constructed on Si/SiO2 substrate.
Simple photolithography technique was used for patterning the photoresist using a mask and a UV LEDs.
Thermal evaporator was utilized to deposit coper metal on the substrate.
After liftoff, electrodes of 5 μm width and spacing of 3 μm were achieved.
Deilecrophrisis technique was adopted to fetch the CNTs towards the fabricated electrode fingers.
The fabricated CNT-FETs exhibit high electron mobility, around 10000 cm2/Vs.
Current transfer characteristic observed that the device has p-type semiconductor properties, which can be attributed to the oxygen molecules absorption of CNTs oxygen from the testing environment.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
al-Mumin, Haydar H.. 2018. Design and fabrication of a Carbone nanotube field effect transistor based on dielectrophoresis technique and low cost photolithography. Journal of University of Babylon for Engineering Sciences،Vol. 26, no. 5, pp.20-27.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-923572
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
al-Mumin, Haydar H.. Design and fabrication of a Carbone nanotube field effect transistor based on dielectrophoresis technique and low cost photolithography. Journal of University of Babylon for Engineering Sciences Vol. 26, no. 5 (2018), pp.20-27.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-923572
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
al-Mumin, Haydar H.. Design and fabrication of a Carbone nanotube field effect transistor based on dielectrophoresis technique and low cost photolithography. Journal of University of Babylon for Engineering Sciences. 2018. Vol. 26, no. 5, pp.20-27.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-923572
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 26-27
رقم السجل
BIM-923572
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)