![](/images/graphics-bg.png)
Capacitive MEMS accelerometer based on silicon-on-insulator technology : design, simulation and radiation affect
المؤلف
المصدر
Arab Journal of Nuclear Sciences and Applications
العدد
المجلد 46، العدد 3 (31 يوليو/تموز 2013)، ص ص. 231-241، 11ص.
الناشر
الجمعية المصرية للعلوم النووية و تطبيقاتها
تاريخ النشر
2013-07-31
دولة النشر
مصر
عدد الصفحات
11
التخصصات الرئيسية
العلوم الهندسية والتكنولوجية (متداخلة التخصصات)
الملخص EN
This work introduces the design, simulation and the radiation effects for an out of plane micromachined z-axis accelerometer based on the silicon-on-insulator technology.
In this design, the response to acceleration is sensed capacitevely via four comb-finger capacitors.
This scheme helps the implementation of the sensor by the bulk micromachining process.
The simulation results shows a good z-axis sensitivity of 24.14(pm/g) and a total equivalent noise acceleration as small as 3.41(μg/(Hz)1/2) and a minimum off-axis sensitivities of 0.15% and 0.3% in x- and y- directions respectively.
The radiation sensitivity depends on the sensing or actuation principle, device design, and radiation-induced trapped charge in dielectrics.
نمط استشهاد جمعية علماء النفس الأمريكية (APA)
Sharaf, Abd al-Hamid E.. 2013. Capacitive MEMS accelerometer based on silicon-on-insulator technology : design, simulation and radiation affect. Arab Journal of Nuclear Sciences and Applications،Vol. 46, no. 3, pp.231-241.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-934568
نمط استشهاد الجمعية الأمريكية للغات الحديثة (MLA)
Sharaf, Abd al-Hamid E.. Capacitive MEMS accelerometer based on silicon-on-insulator technology : design, simulation and radiation affect. Arab Journal of Nuclear Sciences and Applications Vol. 46, no. 3 (Jul. 2013), pp.231-241.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-934568
نمط استشهاد الجمعية الطبية الأمريكية (AMA)
Sharaf, Abd al-Hamid E.. Capacitive MEMS accelerometer based on silicon-on-insulator technology : design, simulation and radiation affect. Arab Journal of Nuclear Sciences and Applications. 2013. Vol. 46, no. 3, pp.231-241.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-934568
نوع البيانات
مقالات
لغة النص
الإنجليزية
الملاحظات
Includes bibliographical references : p. 241
رقم السجل
BIM-934568
قاعدة معامل التأثير والاستشهادات المرجعية العربي "ارسيف Arcif"
أضخم قاعدة بيانات عربية للاستشهادات المرجعية للمجلات العلمية المحكمة الصادرة في العالم العربي
![](/images/ebook-kashef.png)
تقوم هذه الخدمة بالتحقق من التشابه أو الانتحال في الأبحاث والمقالات العلمية والأطروحات الجامعية والكتب والأبحاث باللغة العربية، وتحديد درجة التشابه أو أصالة الأعمال البحثية وحماية ملكيتها الفكرية. تعرف اكثر
![](/images/kashef-image.png)