Measurement of electron temperature (Te) in a positive column by using double probe method
Joint Authors
Salman, Imad A.
Husayn, Ali Abd al-Karim
al-Haddad, Rad M.
Source
Issue
Vol. 8, Issue 2 (31 Mar. 2013), pp.54-61, 8 p.
Publisher
University of Thi-Qar Research and Development Department
Publication Date
2013-03-31
Country of Publication
Iraq
No. of Pages
8
Main Subjects
Abstract AR
في هذا العمل تم تصميم و تصنيع منظومة الترذيذ المغناطيسي المستوية المستمر.
تحتوي هذه المنظومة على قطبين من الألمنيوم بقطر (8 سم) و بسمك (5 ملم) و المسافة التي تفصل بينهما هي (3 سم).
بالإضافة إلى ذلك تم تصميم و تصنيع مجس ثنائي بقطر (0.1 ملم) و طول (1.2 ملم) مصنوع من مادة التنكستن لتشخيص درجة حرارة الإلكترون و بضغوط مختلفة لغاز الآركون.
و يتم وضع المجس في مركز البلازما بين القطبين الموجب و السالب.
كذلك تضمن البحث دراسة تأثير ضغط غاز الآركون على درجة حرارة الإلكترون عند المسافة المحددة.
إن نتائج هذه الدراسة بينت أنه عند زيادة الضغط فإن درجة حرارة الإلكترون تقل.
Abstract EN
In this work the diode planer magnetron sputtering device was designed and fabricated.
This device consists from two aluminum disc (8cm) diameter and (5mm) thick.
The distance between the two electrodes is (3cm).Design and construction double probe made from tungsten wire with (0.1mm) diameter and (1.2mm) length, to investigate the electron temperature under different argon gas pressure.
The probes was situated in the center of plasma between anode and cathode.
The effect of the argon gas pressure on electron temperature was studied as this distance.
The result of this work shown that, when the argon gas pressure increased, the electron temperature will decreased.
American Psychological Association (APA)
Salman, Imad A.& Husayn, Ali Abd al-Karim& al-Haddad, Rad M.. 2013. Measurement of electron temperature (Te) in a positive column by using double probe method. University of Thi-Qar Journal،Vol. 8, no. 2, pp.54-61.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-351324
Modern Language Association (MLA)
Salman, Imad A.…[et al.]. Measurement of electron temperature (Te) in a positive column by using double probe method. University of Thi-Qar Journal Vol. 8, no. 2 (Mar. 2013), pp.54-61.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-351324
American Medical Association (AMA)
Salman, Imad A.& Husayn, Ali Abd al-Karim& al-Haddad, Rad M.. Measurement of electron temperature (Te) in a positive column by using double probe method. University of Thi-Qar Journal. 2013. Vol. 8, no. 2, pp.54-61.
https://search.emarefa.net/detail/BIM-351324
Data Type
Journal Articles
Language
English
Notes
Includes bibliographical references : p. 61
Record ID
BIM-351324
